產(chǎn)品概要
X12半自動探針臺是一款專業(yè)應(yīng)對各類先進(jìn)芯片性能測試的綜合型高效半自動晶圓探針臺，集成了電學(xué)、光波、微波等多功能，具有目前行業(yè)較高的溫寬區(qū)和測試精度，可匹配多種測試應(yīng)用環(huán)境
基本信息
| 產(chǎn)品型號 | X12 | 工作環(huán)境 | 開放式 |
| 電力需求 | 220V,50~60Hz | 操控方式 | 半自動 |
| 產(chǎn)品尺寸 | 1060MM*1610MM*1500MM | 設(shè)備重量 | 約1500KG |
應(yīng)用方向
X12半自動探針臺設(shè)備專業(yè)應(yīng)對12"、8"、6"的晶圓Si/GaN/SiC等各類器件的先進(jìn)芯片性能測試，可配備相應(yīng)的儀器儀表，進(jìn)行I-V、C-V、光信號、RF、1/f噪聲等特性分析，設(shè)備功能豐富，可升級大功率晶圓測試、射頻測試、全自動測試，并可加載溫控系統(tǒng)，滿足客戶在高低溫環(huán)境下的各種晶圓器件性能測試需求。
技術(shù)特點(diǎn)
高效的CHUCK系統(tǒng)，測試效率提升40%以上
● 高效的CHUCK測試系統(tǒng)運(yùn)行速度≥70mm/s，運(yùn)動精度≤1μm，同時移動轉(zhuǎn)位時間index time≤500ms，優(yōu)異的系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)已達(dá)到領(lǐng)先水平，高測試精度和效率滿足各類晶圓和器件的高重復(fù)性與穩(wěn)定性測試測試效率有效提升40%以上；●優(yōu)于± 0.08℃的溫控精度和穩(wěn)定性，提供高低溫環(huán)境下的可靠性晶圓測試；●四維運(yùn)動低重心緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保70mm/s的運(yùn)動速率的同時保持運(yùn)動加減速的穩(wěn)定性。
3倍率成像技術(shù)
內(nèi)置3 ZOOM顯微鏡多視野、三倍率同焦光路系統(tǒng)，光學(xué)120X–2000X變倍放大，大小多視場同時顯示，可使點(diǎn)針便捷操作
輔助CHUCK模塊、硅片安全上下片
●創(chuàng)新Chuck XY軸設(shè)計，確保了XY軸在運(yùn)動時不受層疊板的影響，使運(yùn)動精度和穩(wěn)定性更高； ●探針臺腔體可實現(xiàn)一次性打開，并以大行程370mm的速度快速拉出整個Chuck機(jī)構(gòu)裝卸硅片，Wafer手動上料更方便快捷；同時Chuck旋轉(zhuǎn)角度范圍更大，對于手動擺放wafer 要求更低，操作更加靈活便捷。
O型針座平臺設(shè)計
探針測試系統(tǒng)采用O型的針座平臺設(shè)計，使針座的空間擺放面積達(dá)到了高效的利用，有效實現(xiàn)更高效快速的測試。
空氣薄膜減震系統(tǒng)
內(nèi)置一體化高性能空氣薄膜減震系統(tǒng)和外置隔離防撞欄的雙重設(shè)計，有效避免因操作人員觸碰引起的震動；并采用長時效的鑄件作為基板，在運(yùn)動過程中震動抑制以≤1S的快速度保證設(shè)備的平穩(wěn)運(yùn)行，確保圖像2000X放大時畫面不抖動；同時高精度調(diào)節(jié)閥保證平臺運(yùn)動部分在高度上的誤差為≤0.1mm，有效實現(xiàn)快速die to die的測試能力，確保整個系統(tǒng)在高速運(yùn)動時仍能保持穩(wěn)定的運(yùn)行狀態(tài)，極大程度的提高測試效率。
防干擾屏蔽系統(tǒng)
防干擾EMI/Spectral noise/外界光密閉屏蔽腔，腔體采用導(dǎo)電氧化和鍍鎳的表面工藝處理，確保了各零件之間的導(dǎo)通狀態(tài)從而達(dá)到全屏蔽的效果，降低系統(tǒng)噪聲，有效屏蔽外界干擾，并提供低漏電流保護(hù)，為微弱電信號測試提供了最佳的測試環(huán)境；同時密閉的腔室在低溫環(huán)境下避免了測試樣品不結(jié)露，確保了高低溫環(huán)境下晶圓和器件快速安全的可靠性測試。
自主研發(fā)的軟件集成系統(tǒng)，兼容性更強(qiáng)
●支持半自動控制（可手動測試、亦可自動測試）●自動Wafer校準(zhǔn)、自動wafer mapping、自動die size測量、自動align、自動測試數(shù)據(jù)可遠(yuǎn)程訪問 ●一鍵自動校準(zhǔn)RF探針模塊，自動清針功能 ●一鍵式自適應(yīng)四軸Chuck精度校準(zhǔn)，支持微米級pad點(diǎn)測 ●可支持單點(diǎn)測試或連續(xù)測試 ● 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)儲存能力以及數(shù)據(jù)處理能力 ●可對測試結(jié)果進(jìn)行BIN值劃分，判斷器件NG ●多系統(tǒng)集成功能，可獨(dú)立升級操作系統(tǒng)、應(yīng)用系統(tǒng)和器件測試系統(tǒng)
彈性可選配置與擴(kuò)展
便捷的儀器接入同時支持系統(tǒng)全自動擴(kuò)展升級，溫控系統(tǒng)加載；另有多種測試模塊可選，根據(jù)測試模塊可搭載各種定位器、夾具和針卡與探針臺一起使用，如六軸定位器、RF線纜等；達(dá)行業(yè)最高水平的諸多系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)、功能和特點(diǎn)，可滿足您不同的測試需求，同時也是更多行業(yè)客戶理想選擇的一款半自動探針臺設(shè)備
